潔凈工程安裝高效過濾器注意事項
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
高效過濾器是潔凈工程中的重中之重，一般來說，潔凈室會安設(shè)有初效、中效、高效三級過濾器，高效過濾器主要用于捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物，是室外空氣進入潔凈室的最后一道關(guān)卡。安裝高效過濾器，并不是像我們?nèi)粘０惭b空調(diào)那么簡單，它是最后一道關(guān)卡，責任重大，在安裝時，也有諸多的特殊要求。
特殊之處一：安裝之前室內(nèi)先清潔
在一般人的設(shè)想中，三級過濾器一起安裝，最后一起運行便可以了。然而并非如此。潔凈工程中，在安裝高效過濾器之前，首先要對潔凈室、潔凈空調(diào)系統(tǒng)進行全面清潔，達到清潔要求后，凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運轉(zhuǎn)12h以上，再次清掃、擦凈潔凈室后，方可安裝高效過濾器。為什么要先清潔呢?高效過濾器用于捕集0.5um以下的微粒，如果不先進行清潔，大量的微粒會造成高效過濾器堵塞。
特殊之處二：輕拿輕放，防止劇烈震動
潔凈工程中，高效過濾器的運輸和存放應(yīng)按照出產(chǎn)廠標志的方向擱置，運輸過程中應(yīng)輕拿輕放，防止劇烈振動和碰撞。這是因為高效過濾器是非常精密的儀器，頭發(fā)絲般的誤差便會導致儀器失靈，因此需要輕拿輕放，防止劇烈震動。
特殊之處三：安裝現(xiàn)場再打開外包裝
為什么一定要在安裝現(xiàn)場再打開外包裝呢?在出廠時，高效過濾器經(jīng)過了精心的包裝，包裝材料也是無塵的，達到了一定的潔凈等級，在潔凈的環(huán)境中方可讓高效過濾器曝露在空氣中。
特殊之處四：安裝質(zhì)量好的預過濾器與中效過濾器
實施潔凈工程，安裝高效過濾器后，再要更換，便十分的麻煩，因為要更換高效過濾器，整個潔凈室便無法應(yīng)用了。對此，潔凈公司的做法是選擇質(zhì)量好的預過濾器與中效過濾器，以延長高效過濾器的使用壽命。
高效過濾器的型號、功率、體積、安裝位置等問題，在潔凈室設(shè)計中便要解決。一些潔凈公司缺乏經(jīng)驗，或技術(shù)不到位，安裝高效過濾器不得其法，影響了潔凈室的使用。
潔凈區(qū)部分高效過濾器進行更換時，用干凈的抹布清潔高效過濾器的靜壓箱，然后，打開高效過濾器內(nèi)包裝，將密封條粘貼到高效過濾器的進風側(cè)，平穩(wěn)的把高效過濾器放入靜壓箱內(nèi)，搬運時一定注意輕拿輕放，并記錄高效過濾器規(guī)格型號、編號及安裝位置。固定過濾器時，先檢查過濾器在靜壓箱的中間，過濾器與靜壓箱四周離距相當，固定件應(yīng)對角固定，防止受力不均或損壞過濾器。靜壓箱內(nèi)固定螺母應(yīng)旋緊，使高效過濾器與靜壓箱之間的連接吻合且密封。然后開啟空調(diào)機組，對系統(tǒng)進行通風后，打開高效過濾器內(nèi)包裝，按以上步驟進行更換。
裝好高效過濾器后，運行系統(tǒng)，檢查有無漏風。當發(fā)現(xiàn)有漏風時，做如下處理：緊固固定件或更換密封條并重新安裝，高效過濾器本身漏風，則需要更換新的高效過濾器。接下來，安裝高效過濾器面板，安裝時，按原標記好的方向安裝，面板與頂棚的連接處盡量減少空隙，防止灰塵積聚。高效過濾器安裝后，應(yīng)重新進行環(huán)境檢測，并做驗證，為下次確定高效過濾器報廢提供最可靠的依據(jù)。
